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3080D系列

12英寸单片洗濯设备

3080D系列 12英寸单片洗濯设备

3080D Series 12 Inch Single Wafer Clean Tool

用于集成电路，先进封装、新兴利用等领域12英寸后段洗濯工艺，支持正背面多种化学品利用。选取多片式传输系统保险高效工艺产出；精密的腔室及卡盘设计支持超高的化学品回收效能；搭载热异丙醇（IPA）干燥技术，实现优良的干燥成效。

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