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3080B系列

12英寸单片洗濯设备

3080B系列 12英寸单片洗濯设备

3080B Series 12 Inch Single wafer clean Tool

用于集成电路，先进封装、新兴利用等领域12英寸后段背面洗濯，控片洗濯等工艺，选取多片式传输系统保险高效工艺产出；精密的腔室设计，支持高效的化学品回收效能；可建设伯努利卡盘，有效；ぞг舱；搭载热异丙醇（IPA）干燥技术，实现优良的干燥成效。

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