SUMERIS AP302C 8/12英寸立式PI固化炉
SUMERIS AP302C SUMERIS AP302C 8/12 Inch Vertical PI Curing Furnace
本产品重要利用于8/12英寸先进封装（AP）领域 PI胶固化工艺（PI Curing），可在低氧环境下精准控温对Polyimide（聚酰亚胺）进行烘烤，固化及改善其膜质。一连了先进集成电路设备的成功技术和经验，实现了工艺过程的全自动化。
- 设备特点
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- 产品利用
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- 晶圆尺寸
- 合用资料
- 合用工艺
- 合用领域
