mg冰球突破
首页
关于华创
新闻&活动
产品&服务
参与mg冰球突破
投资者关系
切换说话
关于华创
相识华创
品牌释义
企业文化
行业职位
企业荣誉
社会责任
合规申明
新闻&活动
企业新闻
展会活动
产品&服务
半导体设备
真空新能源设备
精密元器件
服务网络
参与mg冰球突破
人才理想
半导体设备
真空新能源设备
精密元器件
人在NAURA
投资者关系
相识华创
品牌释义
企业文化
行业职位
企业荣誉
社会责任
合规申明
企业新闻
展会活动
半导体设备
真空新能源设备
精密元器件
服务网络
产品系列
等离子刻蚀设备 Etch
物理气相沉积设备 PVD
化学气相沉积设备 CVD
湿法设备 WET
键合设备 Bonder
立式炉管设备 Vertical Furnace
离子注入设备 Implant
急剧热处置设备 RTP
表延设备 EPI
利用领域
集成电路 IC
先进封装 Advanced Packaging
化合物半导体 Compound Semiconductor
新兴利用与科研领域设备 Emerging Applications and R&D
客户服务 Services
备品备件 Parts
产品系列
晶体成长设备 Crystal Growth Equipment
炉管设备 Tube Furnace
真空及空气烧结设备 Vacuum & Atmosphere Sintering Equipment
真空及空气焊接设备 Vacuum & Atmosphere Welding Equipment
真空及空气热处置设备 Vacuum & Atmosphere Heat Treatment Equipment
工业薄膜沉积设备 Industrial Thin Film Deposition Equipment
板级封装设备 Panel-Level Packaging Equipment
平板显示设备 Flat Panel Display Equipment
利用领域
光伏 Photovoltaics (PV) Industry
锂电 Li-ion Battery
半导体 Semiconductor
真空电子 Vacuum Electronics
三航两机 Aerospace, Aviation, Marine, Aero-engine and Gas turbine
石墨碳材 Graphite and Carbon Materials
磁性资料 Magnetic Materials
光学镀膜 Optical Coating
职能涂层 Functional Coating
板级封装 Panel-level Packaging
显示 Display
产品系列
表壳 Packages
电阻器 Resistors
电容器 Capacitors
磁心 Magnetic Cores
电感器 Inductors
晶体谐振器 Crystal Resonators
晶体振荡器 Crystal Oscillators
传感器 Sensors
光电子器件 Optoelectronic Devices
微波器件 Microwave Devices
微波组件 Microwave Modules
？榈缭 Power Modules
仿照芯片 Analog ICs
数字芯片 Digital ICs
电源芯片 Power IC
人才理想
半导体设备
真空新能源设备
精密元器件
人在NAURA
参与mg冰球突破
人才理想
人在NAURA
半导体设备
社会招聘
校园招聘
海表招聘
内部推荐
真空新能源设备
社会招聘
校园招聘
内部推荐
精密元件器设备
社会招聘
校园招聘
参与mg冰球突破
人才理想
人在NAURA
搜索
简体中文
English
首页
产品&服务
半导体设备
化学气相沉积设备
化学气相沉积系统
半导体设备 Semiconductor
Surefill系列
化学气相沉积系统
联系征询
公司名称：
Surefill系列 化学气相沉积系统
Surefill Series CVD System
Surefill系列CVD金属薄膜沉积设备可具备12英寸和8英寸能力，系统重要由大气平台、真空传输平台、工艺腔室组成，选取8K平台，最多可配置6个工艺腔室，可凭据客户需要，矫捷配置腔室数量。
设备特点
单片工艺腔室，耗气量低，具备较低的COO
可配2~6 个腔室，实现单温工艺、双温工艺矫捷配置，满足分歧需要
对ALD/CVD W提供更宽泛的工艺调节窗口，满足分歧技术带对间隙填充、电阻率、低F含量的需要
产品利用
晶圆尺寸
12 英寸、8英寸
合用资料
钨
分享我们：
微信扫一扫
联系mg冰球突破
官方公家号
【网站地图】
