eVictor系列 12英寸通用物理气相沉积系统
eVictor Series 12 Inch PVD System
eVictor系列PVD金属薄膜物理气相沉积系统重要由大气平台 ，真空传输平台 ，去气腔室 ，预清洁腔室和工艺腔室组成 ，设备选取Cluster Tool架构 ，可配置多个工艺腔室、预洗濯腔室和去气腔室 ，其中工艺腔室可凭据客户选择配置分歧工艺资料的腔室。eVictor系列PVD设备拥有反映腔自动开关盖 ，wafer自动传输 ，工艺去气 ，晶片表表预清洁、薄膜沉积齐全自动化等特点。
