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12英寸化学气相刻蚀机
半导体设备 Semiconductor
Accura RX系列
12英寸化学气相刻蚀机
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公司名称：
Accura RX系列 12英寸化学气相刻蚀机
Accura RX Series 12 Inch Chemical Vapor Etcher
重要用于12英寸先进造程领域中氧化硅选择性刻蚀工艺。设备选取化学气相刻蚀技术，拥有高刻蚀均匀性、高选择比、低危险、工艺节造精度高档特点。重要由大平台传输系统、主工艺腔、退火腔、工艺节造系统等组成，系统不变、高效、产能高。宽泛利用逻辑、存储等先进造程领域。
设备特点
高刻蚀均匀性
非刻蚀部门低危险
轻微loading可调
逻辑与存储领域宽泛合用
产品利用
晶圆尺寸
12英寸
合用资料
氧化硅、氮化硅
合用工艺
氧化硅刻蚀、高选择比氧化硅刻蚀
合用领域
集成电路
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