NMC 612M 12英寸氮化钛金属硬掩膜刻蚀机
NMC 612M 12 Inch TiN Metal HardMask Etcher
NMC612M是利用于12英寸金属刻蚀的等离子体干法刻蚀设备。该设备拥有脉冲等离子体节造技术，提供矫捷的工艺调试能力，可能实现精准的刻蚀描摹节造，并具备多区温控静电吸附卡盘，提高晶圆温度均匀性。NMC612M可能满足TiN、HiR、HiK、W以及复杂叠层金属刻蚀的工艺和量产需要，重要利用于Logic、3D NAND、CIS、微显示、硅光等领域，量产经验丰硕。
- 设备特点
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- 产品利用
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- 晶圆尺寸
- 合用资料
- 合用领域
