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BMD P300

微波等离子体表表处置系统

BMD P300 微波等离子体表表处置系统

BMD P300 Descum

BMD P300 微波等离子表表处置设备覆盖 8/12英寸晶圆先进封装场景，整机依附微波等离子体技术搭建。依附不变微波等离子产生单元与双反映台 Twins 腔硬件架构，兼容光刻胶、PI、PBO、剥离层去除及金属离子断根全系列造程，两全高刻蚀速度、宽工艺窗口与优异片内均匀性，适配大翘曲晶圆并保险不变量产机能。设备搭载高密度低危险等离子源、高WPH、齐全 SEMI 尺度适配、全自动智能节造的主题肠能优势，可适配多类高端刻蚀量产工况。

设备特点

产品利用

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