Satur系列 多片式碳化硅表延系统
Satur Series Batch SiC Epitaxy System
Satur系列是一款6/8英寸兼容的多片式碳化硅表延设备，选取水平温壁技术路线与感应加热方式，具备单元面积产能大、自动化水平高、工艺不变、一致性好等凸起优势。设备对石墨腔室进行感应加热，共同光纤式红表高温计精确测温，实现温度场的不变起落与精准节造，工艺窗口宽敞、兼容性优良。表延层在厚度均匀性、掺杂浓度均匀性、组吩旖均性及缺点密度等方面均阐发优异。设备守护方便，可能充分满足量产对高沉复性和高良率的要求。
- 设备特点
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- 产品利用
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- 晶圆尺寸
- 合用资料
- 合用工艺
- 合用领域
