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HORIS D12
卧式扩散炉
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公司名称：
HORIS D12 卧式扩散炉
HORIS D12 Diffusion System
合用于光伏电池片出产，兼容TOPCon、TBC、HTBC等各类工艺路线，涉及磷扩、硼扩、氧化、退火等
设备特点
分区多点高精度控温，高效节能耐高温炉体，起落温快、炉体寿命长
多路进气结构和源压节造系统，保险优良的气场均匀性
成熟的湿氧技术、高温密封技术、自动补源系统、大容量过滤和废液自动网络技术
创新型工装结构设计方式，CoO大幅降低
技术指标
最高温度
1030℃
控温精度
±1℃
碎片率
≤0.01%
压升率
≤2mbar/min
合用工艺
低压磷扩散、低压硼扩散、低压退火/氧化、常压退火/氧化、氢气退火
合用资料
光伏晶硅电池片
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