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真空新能源设备 Vacuum Tech
HOITY GS系列
反映烧结炉
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公司名称：
HOITY GS系列 反映烧结炉
HOITY GS Series Reaction Sintering Furnace
反映烧结炉产品选取不变温区与发热负荷设计 ， 设备干净化设计和选材 ， 有效防护硅传染与便捷保养检建设计 ， 覆盖半导体氧化扩散炉 ， LPCVD 和退火炉用碳化硅炉管。
设备特点
多分区的控温架构和流场设计 ， 实现热场的精准节造 ， 有效保障产品烧结密度、 晶粒尺寸的一致性和均匀性
硅传染防护结构设计与硅蒸气行走管路的守护与保养设计 ， 有效保障温区关键组成的寿命与工艺过程的不变性
占有多项加热安全技术和保温技术 ， 拥有持续不变加热能力及隔热保险
拥有全流程自动化节造系统 ， 凭据实时情况纪录 ， 保险工艺流程节造精准无误
技术指标
最高温度1900℃ ，极限真空5Pa ，温度均匀性±5℃ ，压升率2Pa/h
合用工艺
半导体氧化、半导体氧化、退火设备用碳化硅炉管、碳化硅陶瓷悬臂桨、悬臂梁、悬臂杆、 舟陀注 晶舟等结构件的反映烧结工艺设备用碳化硅炉管、 碳化硅陶瓷悬臂桨、悬臂梁、 悬臂杆、 舟陀注 晶舟等结构件的反映烧结工艺
合用资料
碳化硅
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