CONAL VH1312O1 陆续式石墨化炉
CONAL VH1312O1 Continuous Thermal Processing Equipment
设备合用于单晶炉热场资料的陆续高温石墨化工艺，拥有陆续化处置能力，选取推舟式传输系统，实现24/7不间断出产，产能显著提升。占有多温区不变节造及动密封专利，多区独立温控？榭墒迪痔囟ㄎ露惹，从而实现产品一次合格率高达100%。拥有全流程自动化节造系统，凭据实时情况纪录，保险流程精准无误。
- 设备特点
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- 技术指标
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- 最高工作温度
- 温度均匀性
- 冷态真空度
- 工作区有效尺寸
- L1400×W1400×H1800mm
- L1500×W1500×H1800mm
- 合用工艺
- 合用资料
