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ARTI 系列

多腔室磁控溅射镀膜设备

ARTI 系列多腔室磁控溅射镀膜设备

ARTI Series Multi Chamber Sputtering Equipment

陆续多腔体镀膜设备，选取整鼓陆续的方式，具备自动化高低系统；合用于智能设备、车载屏幕、激光雷达、人脸鉴别等领域，可实现金属、氧化物、氟化物、氮化物等资料的直流、中频、射频溅射工艺涂层沉积。

设备特点

技术指标

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