eVictor/Polaris系列 板级物理气相沉积系统
eVictor/Polaris Series Panel-Level PVD System
eVictor/Polaris系列板级物理气相沉积系统蕴含大气平台、真空传输平台、去气腔室、预洗濯腔室以及工艺腔室 ，可能实现蕴含钛粘附层与铜籽晶层等多种工艺 ，eVictor/Polaris系列为全自动大产能设备 ，拥有反映腔自动开关盖 ，Panel自动传输 ，工艺去气 ，晶片表表预清洁、薄膜沉积齐全自动化等特点 ，设备可同时满足较好的厚度均匀性和Rs均匀性。
