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PLP C系列
板级立式PI固化炉
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公司名称:
PLP C系列 板级立式PI固化炉
PLP C Series Panel-Level Vertical Polyimide Cure Furnace
板级PIQ设备蕴含自动传输系统和炉管反映室,重要用于板级封装领域的PI光胶固化和烘烤去湿等工艺。支持全自动化出产模式,具备优异的颗粒、氧含量和温度节造能力,为索求更幼线宽的板级先进封装工艺提供更多可能。
设备特点
优异的颗=谠炷芰
高均匀性温度场节造技术
急剧升/降温度技术
全流程微氧环境节造
支持大翘曲基板高效传输
技术指标
晶圆尺寸
310mm×310mm、510mm×515mm
合用工艺
PI固化、一时键合固化、烘烤去湿
合用资料
PI、PR等
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