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精密元器件 Precision Components

薄膜电容式压力传感器

薄膜电容式压力传感器

Thin Film Capacitive Pressure Sensor

薄膜电容式压力传感器，薄膜电容道理，高精度、高不变，利用于半导体设备、工业真空测控。

产品特点

技术指标

利用领域
半导体设备、医疗设备、仪器仪表
丈量量程
0.1torr、1torr、10torr、100torr、1000torr、其他定造量程
丈量精度
±0.15%~±0.5%R.D.
温控温度
常温、45℃、100℃、160℃
空气
合用于所有气体
通讯方式
仿照、RS485、DeviceNet

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